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狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die

簡(jiǎn)要描述:多段式供液,涂布膜層均勻性高

通過(guò)3個(gè)激光傳感器,實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)對(duì)刀、防撞刀

搭配高精度注液泵

可采用鈣鈦礦溶劑驗(yàn)收

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-05-23
  • 訪  問(wèn)  量:348

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產(chǎn)品介紹:

狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die


技術(shù)特點(diǎn):
  • 多段式供液,涂布膜層均勻性高

  • 通過(guò)3個(gè)激光傳感器,實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)對(duì)刀、防撞刀

  • 搭配高精度注液泵

  • 可采用鈣鈦礦溶劑驗(yàn)收

狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die
技術(shù)參數(shù):
狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die

真空閃蒸及退火設(shè)備 VCD & Annealing

技術(shù)特點(diǎn):
  • 集成閃蒸和退火工藝,成膜環(huán)境和成膜過(guò)程高度可控

  • 大面積樣品退火受熱均勻,保證相變一致性

  • 快速去除濕膜中的殘余溶劑,均勻的過(guò)飽和

  • 變頻調(diào)速羅茨泵實(shí)現(xiàn)抽氣速率可控

狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die
技術(shù)參數(shù):
狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die

激光劃刻設(shè)備 Laser Scriber

技術(shù)特點(diǎn):
  • P1、P2、P3飛秒、皮秒紅外激光可選

  • 高度定制化,膜面/玻璃面劃刻可選,平頂光斑可選

  • 精度高,具備逐線功能,線間距小

  • 工藝成熟,邊緣光潔,無(wú)火山環(huán)及毛邊

狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die
技術(shù)參數(shù):
狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die

蒸鍍?cè)O(shè)備 Evaporation System

技術(shù)特點(diǎn):
  • 多源共蒸,實(shí)現(xiàn)大面積鍍膜

  • 熱場(chǎng)和溫控精確

狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die

技術(shù)參數(shù):
狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die

原子層沉積設(shè)備 Atomic Layer Deposition

技術(shù)特點(diǎn):
  • 精確控制薄膜厚度

  • 薄膜均勻性高

  • 溫控精度高

  • 全自主工藝腔室設(shè)計(jì),空間型和時(shí)間型可選,多片和單片可選

狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die
技術(shù)參數(shù):
狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die


磁控濺射設(shè)備  Sputtering System

技術(shù)特點(diǎn):
  • 工藝穩(wěn)定性高

  • 自研氧化鎳反應(yīng)濺射控制器

  • ITO/NiOx靶采用圓柱靶,靶材利用率高

  • 靶-基距可調(diào),低損傷TCO導(dǎo)電膜鍍膜

狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die
技術(shù)參數(shù):
狹縫涂布設(shè)備 Slot-Die


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